Авторизованный партнёр
Keysight Technologies
Официальный дистрибьютор
FormFactor
Официальный дистрибьютор
Maury Micorwave Corporation
Официальный дистрибьютор
Farran Technology
Партнер Spellman


115191, г. Москва, Холодильный пер, д.3, корп.1, стр.4
тел./факс: (495) 955-27-24, 955-27-37, 955-27-98
e-mail: info@ntnk.ru
зондовые методы контроля в микроэлектронике
Измерительные приборы и комплексы
Вычислительная техника
Автоматизация
Растровая-электронная микроскопия
 КаталогСредства измерений параметров поверхностиРастровая-электронная микроскопия
► Характеристики Keysight 8500 FESEM

     Отдел Электронных Измерений компании Agilent Technologies стал компанией Keysight Technologies Подробнее....

Характеристики Keysight 8500 FESEM

Рабочие характеристики

конструкция эмиссионного катода FE-SEM 8500 Ускоряющее напряжение: от 500 В до 2000 В
Ток пучка: от 0,2 нА до 1 нА
Разрешение: менее 10 нм при 1000 В
Поле сканирования: 1 х 1 мм
Тип работы электронного источника: полевая эмиссия Шоттки
Режимы детектора: вторичных электронов, обратно-рассеянных электронов, топографии

Исследуемые образцы

оснастка для крепления образцов Максимальные размеры образца: 100 х 60 мм
Максимальная толщина образца: 30 мм
Максимальная исследуемая поверхность: 50 х 30 мм
Крепление образца: стандартное
Электрическая активация: вакуумный канал

Моторизованный координатный стол

Точность пьезопозиционера: 1 мкм
Перемещение по X,Y,Z координатам: 50 х 50 х 10 мм

Изображение

Форматы изображения: JPEG, TIFF, BMP, PNG
кантилевер АСМ поверхность кремния 111 Разрешение изображения:
задаваемое пользователем, максимально 2048 х 2048 пикселей
Скорость сканирования:
медленное сканирование соответствует скорости видео
Понижение шума: усреднение кадра и пикселей
Цифровое видео: запись видео в реальном времени

Вакуумная система

Вакуум в камере: 10-4 торр.
Время понижения давления: 3 минуты
Турбонасос: 80 л/с
СВВ-насос: ионный насос с газопоглащением

Управление системой

Персональный компьютер: на ОС Windows 7
Базовый интерфейс пользователя: Управление и захват изображений
Продвинутый интерфейс пользователя: Профессиональная оптимизация изображений

Габаритные размеры, масса

Микроскоп: 584(Ш) x 470(Д) x 584(В) мм; 72 кг
Блок насоса: 203(Ш) x 254(Д) x 203(В) мм; 4 кг

Требования к помещению

Питающая сеть: 100 – 240 В, 50/60 Гц
Температура: от 15 до 30 °С
Влажность: от 20% до 80%
Сжатый воздух: не требуется
Сухой азот: не требуется, но может использоваться, имеется соответствующий ввод
Водяное охлаждение: не требуется

Рабочий состав системы:

Микроскоп FE-SEM 8500, компьютер под управлением Windows 7, форвакуумный насос, ИБП




Наша почта   Наш канал на YouTube

6 мая 2016 года
Keysight Technologies выпустила новый атомно-силовой микроскоп с системой быстрого сканирования Keysight 9500.

Подробнее..



26 декабря 2013 года
Keysight Technologies разаработала новый атомно-силовой микроскоп с атомарной разрешающей способностью и расширенными методиками сканирования поверхности Keysight 7500.

Подробнее..


 
тел.:+7 (495) 955-27-24, 955-27-37, e-mail:  info@ntnk.ru вебмастер: www@ntnk.ru  
Яндекс цитирования Яндекс.Метрика