Авторизованный партнёр
Keysight Technologies
Официальный дистрибьютор
FormFactor
Официальный дистрибьютор
Maury Micorwave Corporation
Официальный дистрибьютор
Farran Technology
Партнер Spellman


115191, г. Москва, Холодильный пер, д.3, корп.1, стр.4
тел./факс: (495) 955-27-24, 955-27-37, 955-27-98
e-mail: info@ntnk.ru
зондовые методы контроля в микроэлектронике
Измерительные приборы и комплексы
Вычислительная техника
Автоматизация
Источники питания Spellman - серия EGM
 КаталогВысоковольтное оборудование SpellmanСпециальные источники ->
 Источник серии EGM

Источник питания серии EGM для 50 кВ электронной пушки


    Прецизионный источник питания для электронной пушки компании Spellman предназначен для обеспечения предельно высокой стабильности и низкого уровня пульсаций. EMG 50 имеет интегральный источник питания плавающего накала и интерфейс RS232, что позволяет сократить время создания и упростить сборку конечной системы. Оптимальная эффективность работы достигается благодаря безопасному (на уровне потенциала «земли») локальному и дистанционному управлению энергией пучка, мощностью накала и током эмиссии.

 Типичные сферы применения

   • Электронно-лучевая литография;
   • Контроль полупроводников;
   • Сканирующие электронные микроскопы.
 Достоинства

   • Локальное и дистанционное управление энергией пучка, мощностью цепи накала и током эмиссии;
   • Встроенный ИП плавающего накала;
   • Система активного смещения;
   • Интерфейс управления RS-232;
   • Безопасные (на уровне потенциала земли) органы локального и дистанционного управления;
   • Возможна модификация под заказ.

Подробнее об источнике EGM в технической документации (на англ.)  

Характеристики

   Входное напряжение: ~90-260 В.
   Входной ток: 1 А эфф. макс.
   Входная частота: От 47 до 63 Гц.
   Защита по входу:
Защита по входу через интегральный плавкий предохранитель «Т» 3,15 А стандарта IEC.
   Температурный диапазон:
Во время работы: от 15 до 30°C (для высокостабильных ИП необходимы стабильные внешние условия).
При хранении: от 0 до 70°C
   Рабочая относительная влажность: Менее 70%.
   Входные и выходные разъемы и кабели:
Вход сети питания через входной разъем стандарта IEC. EGM50 поставляется с разъемом федерального стандарта и выходным разъемом в комплекте со встречным разъемом и кабелем.
   Локальное управление:
Локальное управление мощностью цепи накала и током эмиссии при помощи кнопочных выключателей увеличения/уменьшения параметра. ВКЛ/ВЫКЛ энергии пучка при помощи кнопочного выключателя.
   Дистанционное управление:
Дистанционное управление энергией пучка, мощностью цепи накала и активным смещением через цифровой интерфейс управления RS-232C.
   Контроль:
Дистанционный контроль аналоговых выходов через BNC разъемы на задней панели.
   Контроль по дисплею передней панели:
Четырехразрядный индикатор на передней панели отображает:
• энергию пучка или напряжение смещения (дисплей периодически переключается между энергией пучка и напряжением смещения);
• ток эмиссии;
• мощность цепи накала.
   Размеры: 13,3 см x 48,3 см x 48см.
   Вес: 30 кг.

Энергия пучка

   Выходное напряжение:
50 кВ (фиксированное) ±2% подгонка через дистанционное управление. По запросу возможны различные выходные параметры и другие напряжения.
   Выходной ток: Максимум 300 мкА.
   Полярность: Отрицательная.
   Стабилизация сети:
Менее 0,00025% при изменениях в сети 10% при выходных значениях 50 кВ, 300 мкА.
   Стабилизация нагрузки: Менее 0,001%.
   Нестабильность:
Менее 0,00025%/12 ч при постоянных рабочих условиях. По заказу возможны другие значения стабильности – 5, 10, 20, 0,005%.
   Время прогрева: Максимум три часа до достижения полной стабильности.
   Пульсации и шум: Менее 0,00025%.
   Защита от повышенного тока:
Защита от условий превышения предельного тока срабатывает при достижении 120% номинального тока.
   Защита от дугового разряда:
Имеется защита от дугового разряда. ИП выключается от перегрузки по току.

Источник питания цепи накала

   Выходная мощность:
12,7 Вт максимум (регулируется ступенями по 0,1 Вт) для импедансов от 1 до 4 Ом.
   Регулировка:
Постоянная регулировка мощности, регулируется на основной стороне у всех моделей.
   Стабилизация сети:
Менее 0,002% при изменениях сети 10%.
   Стабилизация нагрузки:
Менее 5% при изменении нагрузки от 1 до 4 Ом при мощности от 5 до 7 Вт.
   Дрейф: Менее 0,01% в час.
   Время прогрева: Максимум 3 часа до достижения полной стабильности.
   Пульсации и шум:
Менее 0,1% (частота возбуждения) или менее
0,005% (от 10 Гц до 3 кГц).
   Контроль выходных параметров:
Контрольный выход 100 мВ для выходной мощности 1 Вт через BNC разъем на задней панели.

Активное смещение

   Напряжение:
От 100 В до 2 кВ относительно питания цепи накала. Активное смещение автоматически регулируется для управления током эмиссии в диапазоне от 0 до 300 мкА.
   Нестабильность тока эмиссии: 50 мкА.
   Контроль: Ток эмиссии: 1 В на контрольном выходе соответствует току эмиссии 100 мкА.


Описание разъёмов:    

BNC-разъемы управления моделей EMG

BNC Сигнал
1 Выход контроля энергии пучка
2 Выход контроля тока эмиссии
3 Выход контроля пульсаций ВН
4 Выход контроля пульсаций Wehnelt
5 Выход контроля мощности накала

9-штырьковый D разъем источника EMG

Сигнал
1 Не используется
2 Rx данные (системный)
3 Tx данные (системный)
4 Испытательный режим (замкн. на 0)
5 0 В
6 Блокировка/ВКЛ ВН (замкн. на 0)
7 RTS
8 CTS
9 Не используется






инфо
 
тел.:+7 (495) 955-27-24, 955-27-37, e-mail:  info@ntnk.ru вебмастер: www@ntnk.ru  
Яндекс цитирования Яндекс.Метрика